一、主讲教师简介
张卫，男，教授、博士生导师，现任复旦大学微电子学院副院长。曾先后获得上海市优秀博士后，上海市高校优秀青年教师，教育部新世纪优秀人才等荣誉称号。2002年获得教育部二等奖，2012年获北京市科技进步一等奖。2013年教育部创新团队带头人。
张卫教授一直从事极大规模集成电路工艺、半导体材料和微电子器件研究。在极大规模集成电路先进铜互连技术、原子层淀积工艺，以及新型存储器等研究中取得了一系列创新性成果。张卫教授是复旦大学校学术委员会委员、国家重大专项(02 专项)总体组专家、国家科技奖励评审专家、上海市战略性新兴产业推进工作组专家、国家自然科学基金委员会-中国科学院“后摩尔时代微纳电子”学科发展战略研究工作组专家、中国工程院-上海市政府“长三角地区集成电路产业发展战略研究”专家组专家。张卫教授还担任10多个国际学术会议的主席和技术委员会委员。张卫教授已指导博士生20多人，硕士生50多人。近年已发表SCI论文200多篇，申请发明专利180多项，其中30多项美国专利。
欢迎有兴趣的教师自由前往参加。
教师教学发展中心 信息科学技术学院
2013.11.29
